中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學研究機構(gòu)之一。新中國成立后隸屬中國科學院，曾命名中國科學院工學實驗館、中國科學院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據(jù)科研領(lǐng)域和科技發(fā)展目標的調(diào)整，更名為中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所（以下簡稱上海微系統(tǒng)所）。

在八十多年的發(fā)展進程中，上海微系統(tǒng)所始終圍繞國家戰(zhàn)略需求，調(diào)整科研布局，發(fā)揮了對國民經(jīng)濟建設(shè)的骨干引領(lǐng)作用。上世紀五十年代，在國內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵，成功解決了包鋼高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收。六十年代中期，發(fā)展微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門合作研制出國內(nèi)第一塊工業(yè)實用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路和國內(nèi)第一塊8位、16位微處理器。八十年代中期，開展微電子機械系統(tǒng)（MEMS）和SOI材料研究，在國內(nèi)居領(lǐng)先地位，并在國際上占據(jù)了重要的一席之地。

1998年進入知識創(chuàng)新工程后，上海微系統(tǒng)所確定了電子科學與技術(shù)、信息與通信工程兩大學科領(lǐng)域和微小衛(wèi)星、無線傳感網(wǎng)絡(luò)、未來移動通信、微系統(tǒng)技術(shù)、信息功能材料與器件五個學科方向，形成了“系統(tǒng)為牽引、系統(tǒng)帶器件、器件帶材料”的創(chuàng)新價值鏈。近年來，成功發(fā)射創(chuàng)新一號01、02和03星、“神舟七號”伴星，是我國微小衛(wèi)星的重要研制基地；實施了 “上海世博會防入侵傳感網(wǎng)”、“浦東機場防入侵系統(tǒng)”、 “奧運會上海站火炬?zhèn)鬟f”、“太湖水質(zhì)監(jiān)控傳感網(wǎng)”等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用示范工程，引領(lǐng)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)，推升為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)；研發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的寬帶無線通信系統(tǒng)，應(yīng)用于汶川和玉樹抗震搶險、上海世博會和廣州亞運會安防等重大事件，在抗震救災(zāi)、維穩(wěn)、公共安全、數(shù)字化城市等方面發(fā)揮了不可替代的作用；SOI材料實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，填補國內(nèi)空白，應(yīng)用于國家重大關(guān)鍵工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是國內(nèi)唯一一個具有國際先進水平的國家級高端硅基材料產(chǎn)業(yè)化基地。

自建國以來，上海微系統(tǒng)所獲得國家級科技獎項46項、部省級347項，其中“甲種分離膜”技術(shù)獲國家科技進步特等獎，“高速、超高速雙極型數(shù)字集成電路”、“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”獲國家科技進步一等獎。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室/微系統(tǒng)技術(shù)重點實驗室、信息功能材料國家重點實驗室，有中科院微小衛(wèi)星重點實驗室、中科院太赫茲固態(tài)技術(shù)重點實驗室、中科院無線傳感網(wǎng)與通信重點實驗室，設(shè)有傳感技術(shù)、信息功能材料、太赫茲固態(tài)技術(shù)、無線傳感網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)技術(shù)、寬帶無線技術(shù)六個研究室和新能源技術(shù)中心、上海汽車電子工程中心，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個分支機構(gòu)，與德國亥姆霍茲國家研究中心于利希中心共建了超導(dǎo)與生物電子學聯(lián)合實驗室，，與中國鐵路通信信號集團公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯(lián)合實驗室，與吉林大學共建了地球物理探測技術(shù)聯(lián)合實驗室，等。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有在職職工803人，其中一線科技和管理人員606人，研究員及正高級工程技術(shù)人員94人，有中國科學院院士2人、中國工程院院士1人、美國國家科學院外籍院士1人，有國家“千人計劃”5人、中國科學院“百人計劃”18人、國家杰出青年科學基金獲得者4人、國家“百千萬人才工程”入選者6人、上海市科技領(lǐng)軍人才8人次。

上海微系統(tǒng)所是國務(wù)院學位委員會批準的首批博士、碩士學位授予單位之一，設(shè)有電子科學與技術(shù)、信息與通信工程兩個專業(yè)一級學科博士/碩士研究生培養(yǎng)點，材料物理與化學專業(yè)二級學科博士/碩士研究生培養(yǎng)點，有電子科學與技術(shù)、材料科學與工程兩個專業(yè)一級學科博士后流動站?，F(xiàn)有在學研究生391人，其中碩士生214人、博士生177人，在站博士后19人。

面向“十二五”和“創(chuàng)新2020”，上海微系統(tǒng)所確定了圍繞國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快電子科學與技術(shù)、信息與通信工程兩大學科建設(shè)，解決“感知中國”戰(zhàn)略高技術(shù)問題，突破物聯(lián)網(wǎng)、MEMS核心器件、高端硅基SOI材料關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化，成為無線傳感網(wǎng)、寬帶無線通信、微系統(tǒng)及相關(guān)材料與器件領(lǐng)域不可替代、“四個一流”研究所的戰(zhàn)略目標，為國民經(jīng)濟建設(shè)和國家安全做出更大貢獻。